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研磨液大顆粒液體顆粒計數器

更新時間:2024-11-25

訪問量:1274

廠商性質:生產廠家

生產地址:陜西西安

簡要描述:
研磨液大顆粒液體顆粒計數器商用集成電路的制造關鍵取決于通過化學機械平坦 化(CMP)將硅晶片表面拋光至接近原子平坦度的磨料漿 料顆粒的物理和化學性質。磨料漿料(Slurry)中含有相對 較少>1.0μm 的顆粒(如二氧化硅、氧化鋁),這些顆 粒可能會在晶圓表面平坦化處理的時候造成微劃傷。
品牌PULUODY/普洛帝應用領域環保,生物產業,石油,制藥/生物制藥,綜合

研磨液大顆粒液體顆粒計數器

  

研磨液大顆粒液體顆粒計數器產品介紹:商用集成電路的制造關鍵取決于通過化學機械平坦 化(CMP)將硅晶片表面拋光至接近原子平坦度的磨料漿 料顆粒的物理和化學性質。磨料漿料(Slurry)中含有相對 較少>1.0μm 的顆粒(如二氧化硅、氧化鋁),這些顆 粒可能會在晶圓表面平坦化處理的時候造成微劃傷。因此 ,磨料漿料(Slurry)顆粒的大顆粒計數 (LPC) 是 CMP 工 藝中的關鍵因素。

 研磨液大顆粒液體顆粒計數器檢測原理待:測液體流過流通池,流通池兩側裝有光學玻璃,激光 器的光束通過透鏡組準直,光束穿過流通池,照射在光陷阱 上。若待測液體中沒有顆粒,則光電探測器接收不到光信號 ,若液體中有顆粒,顆粒通過流通池,與激光光束發生遮擋 或者散射現象。某一個(或幾個)角度下的遮擋和散射信號通 過透鏡收集匯聚到光電探測器上,產生正的電信號脈沖,脈 沖信號的幅度和光強成正比。根據信號的幅度和個數可以對 液體中的微小顆粒進行計數檢測。 光阻法主要檢測 2μm 以上的較大顆粒,光散射法主要 檢測 2μm 以下的顆粒。兩種模的巧妙融合檢測讓顆粒的探 測范圍更加寬廣且精度更高,讓顆粒無處遁形。 PLD-FX-801 液體顆粒計數器基于光散射法和光阻法雙模式的檢測原理,采用普洛帝核心技術第八代雙激光 窄光顆粒檢測傳感器,雙精準流量控制和在離線自動稀釋系統,可以用于評估研磨液中的不良顆粒以及這些顆 粒的濃度。PLD-FX-801 液體顆粒計數器可以有效幫助我們確認系統中的顆粒污染源,評估過濾的有效性以及減 少選些不良顆粒帶來的風險。

研磨液大顆粒液體顆粒計數器


 研磨液大顆粒液體顆粒計數器典型應用:應用于 CMP POU 供應前段-供給設備的 Final out 處檢測出 Slurry 內的引起 scratch & defect 的 Large Particle,從而預防事故的發生; 應用于檢測區分 Slurry good/bad test , good/bad slurry,在供給端分析而預防事故的發生; 應用于電子半導體行業純水中顆粒監測分析; 應用于電子半導體行業電子化學品中顆粒監測分析; 應用于過濾行業的濾除效率以及膜完整性監測; 應用于凈水廠凈水、鋼廠回收水、自來水用水等。

性能特點雙模式:的檢測原理,讓顆粒無處遁形; 0.5-100μm 的標準顆粒尺寸,超寬廣的顆粒監測范圍; 精確的流量控制,讓監測數據更加恒定和穩定; 在離線自動稀釋系統,適合超高濃度粒子; 高流速保證了快速的清洗時間和系統潔凈度; 儀器一體化設計故障率,保證了低維護成本; 乳膠球校準,可追溯至 NIST 標準; 實時觀察研磨漿料中顆粒的粒徑大小、數量和趨勢分析; 靈活設置限值報警,動態變化響應快; 可選配靈活通訊方式,實現工廠現代化管理;


研磨液大顆粒液體顆粒計數器




技術參數

傳感器:第八代雙激光窄光檢測器(更精確,更穩定,更迅速)

∝測試原理: 光阻和光散射雙模式

∝測試樣品: 水和有機溶劑

∝檢測范圍: 0.5-100μm

∝通道數量:1000 通道可任意設定 16 個  

∝檢測時間: 5s~自定義

∝粒徑精度: ≥90%

∝計數精度: ±3%

∝取樣精度: ±1%

∝取樣流速: 5mL/min~150mL/min

∝測定方式: 在線/離線、稀釋/直接

∝報警方式: 聲光報警器、漏液報警、顆粒限制報警

∝控制系統: Windows 操作系統

∝通訊方式: 標配 TCPIP;選配:RS232/RS485/4-20mA

訂購配置

標準配置:

檢測主機一套;

安裝調試耗材包一套;

出廠紙質文件一套。

入口壓力調節模塊。

應用案例

在線或離線測定時,可 Match 供給設備 filter 交換時或 charge 等供給設備 Event 變化帶來 的 LPC Data,可有效監測 Slurry 的 Grade。







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